Вводный курс по фотолитографии

О курсе

Какие знания получу?
  • Понимание технологии производства интегральных микросхем и микроэлектронных приборов


Требования
  • Знание физики
  • Знания химии

Уроков

  • 83 Уроков
  • 00:21:31 Часов
  • Видеообзор00:05:00
  • Общие сведения00:08:31
  • Основные понятия
  • Словарь терминов
  • Рентгенолитография
  • Проекционная электронолитография
  • Электронолитография с управляемым пучком
  • Метод телекопира или устройства с бегущим пучком
  • Метод управляемого электронного пучка
  • Оборудование для электронно-лучевой литографии
  • Безшаблонная электронолитография
  • Электронорезисты
  • Термическая обработка материалов электронным лучом
  • Основы метода голографии
  • Экспериментальная техника голографической фотолитографии
  • Материалы для регистрации лазерного излучения - Часть 1
  • Материалы для регистрации лазерного излучения - Часть 2
  • Материалы для регистрации лазерного излучения - Часть 3
  • Классификация принципов оптической проекционной фотолитографии
  • Основные характеристики объективов
  • Фокусировка объектов
  • Источники излучения для проекционных установок
  • Воспроизведение размеров элементов модуля и ограничения проекционных систем -Часть 1
  • Воспроизведение размеров элементов модуля и ограничения проекционных систем -Часть 2
  • Метод свободной маски
  • Метод контактной маски
  • Метод селективного химического травления
  • Особенности тонкопленочной фотолитографии
  • Тонкопленочная литтография и электрохимические процессы
  • Фотолитография при изготовлении многослойных схем - Часть 1
  • Фотолитография при изготовлении многослойных схем - Часть 2
  • Процессы травления - Часть 1
  • Процессы травления - Часть 2
  • Процессы травления - Часть 3
  • Процессы травления - Часть 4
  • Процессы травления - Часть 5
  • Процессы травления - Часть 6
  • Удаление фоторезиста и очистка подложек - Часть 1
  • Удаление фоторезиста и очистка подложек - Часть 2
  • Дефекты литографического процесса - Часть 1
  • Дефекты литографического процесса - Часть 2
  • Дефектность фоторезистивных пленок. Кислотопроницаемость
  • Особенности осветителей для контактной литографии
  • Взаимосвязь фототехнических и физико-химических параметров фоторезистов - Часть 1
  • Взаимосвязь фототехнических и физико-химических параметров фоторезистов - Часть 2
  • Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 1
  • Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 2
  • Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 3
  • Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 4
  • Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 5
  • Процессы проявления фоторезистов
  • Процессы совмещения в контактной литографии - Часть 1
  • Процессы совмещения в контактной литографии - Часть 2
  • Высокомолекулярные соединения
  • Растворы полимеров
  • Формирование плёнок из раствора
  • Агдезия - Часть 1
  • Агдезия - Часть 2
  • Агдезия - Часть 3
  • Методы формирования резистивных покрытий - Часть 1
  • Методы формирования резистивных покрытий - Часть 2
  • Сушка фоторезистивных покрытий
  • Видеообзор00:08:00
  • Классификация фотошаблонов
  • Трехступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 1
  • Трехступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 2
  • Трехступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 3
  • Двухступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 1
  • Двухступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 2
  • Одноступенчатая схема изготовления фотошаблонов и автоматизация
  • Изготовление рабочих фотошаблонов
  • Цветные фотошаблоны
  • Контроль фотошаблонов
  • Некоторые особенности производства фотошаблонов - Часть 1
  • Некоторые особенности производства фотошаблонов - Часть 2
  • Фотохимические реакции органических соединений
  • Светочувствительность высокомолекулярных соединений
  • Методы повышения светочувствительности полимерных материалов - Часть 1
  • Методы повышения светочувствительности полимерных материалов - Часть 2
  • Основы требования к фоторезистам
  • Некоторые свойства фоторезистов и области их применения
  • Таблица химических составов
  • Основные параметры некоторых отечественных фоторезистов

Об учителе

Учитель
Имя : Александр Тимошенко
Отзывов : 2 Отзывов
Студент : 34 студентов
Курсы : 7 Курсы

Отзывов

0
расчитано на основе 0 Отзывов
1
2
3
4
5