Вводный курс по фотолитографии
О курсе
Какие знания получу?
-
Понимание технологии производства интегральных микросхем и микроэлектронных приборов
Требования
- Знание физики
- Знания химии
Уроков
- 83 Уроков
- 00:21:31 Часов
- Видеообзор00:05:00
- Общие сведения00:08:31
- Основные понятия
- Словарь терминов
- Рентгенолитография
- Проекционная электронолитография
- Электронолитография с управляемым пучком
- Метод телекопира или устройства с бегущим пучком
- Метод управляемого электронного пучка
- Оборудование для электронно-лучевой литографии
- Безшаблонная электронолитография
- Электронорезисты
- Термическая обработка материалов электронным лучом
- Основы метода голографии
- Экспериментальная техника голографической фотолитографии
- Материалы для регистрации лазерного излучения - Часть 1
- Материалы для регистрации лазерного излучения - Часть 2
- Материалы для регистрации лазерного излучения - Часть 3
- Классификация принципов оптической проекционной фотолитографии
- Основные характеристики объективов
- Фокусировка объектов
- Источники излучения для проекционных установок
- Воспроизведение размеров элементов модуля и ограничения проекционных систем -Часть 1
- Воспроизведение размеров элементов модуля и ограничения проекционных систем -Часть 2
- Метод свободной маски
- Метод контактной маски
- Метод селективного химического травления
- Особенности тонкопленочной фотолитографии
- Тонкопленочная литтография и электрохимические процессы
- Фотолитография при изготовлении многослойных схем - Часть 1
- Фотолитография при изготовлении многослойных схем - Часть 2
- Процессы травления - Часть 1
- Процессы травления - Часть 2
- Процессы травления - Часть 3
- Процессы травления - Часть 4
- Процессы травления - Часть 5
- Процессы травления - Часть 6
- Удаление фоторезиста и очистка подложек - Часть 1
- Удаление фоторезиста и очистка подложек - Часть 2
- Дефекты литографического процесса - Часть 1
- Дефекты литографического процесса - Часть 2
- Дефектность фоторезистивных пленок. Кислотопроницаемость
- Особенности осветителей для контактной литографии
- Взаимосвязь фототехнических и физико-химических параметров фоторезистов - Часть 1
- Взаимосвязь фототехнических и физико-химических параметров фоторезистов - Часть 2
- Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 1
- Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 2
- Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 3
- Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 4
- Оптические явления в системе ФОТОШАБЛОН-ФОТОРЕЗИСТ - Часть 5
- Процессы проявления фоторезистов
- Процессы совмещения в контактной литографии - Часть 1
- Процессы совмещения в контактной литографии - Часть 2
- Высокомолекулярные соединения
- Растворы полимеров
- Формирование плёнок из раствора
- Агдезия - Часть 1
- Агдезия - Часть 2
- Агдезия - Часть 3
- Методы формирования резистивных покрытий - Часть 1
- Методы формирования резистивных покрытий - Часть 2
- Сушка фоторезистивных покрытий
- Видеообзор00:08:00
- Классификация фотошаблонов
- Трехступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 1
- Трехступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 2
- Трехступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 3
- Двухступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 1
- Двухступенчатая схема изготовления фотошаблонов - Часть 2
- Одноступенчатая схема изготовления фотошаблонов и автоматизация
- Изготовление рабочих фотошаблонов
- Цветные фотошаблоны
- Контроль фотошаблонов
- Некоторые особенности производства фотошаблонов - Часть 1
- Некоторые особенности производства фотошаблонов - Часть 2
- Фотохимические реакции органических соединений
- Светочувствительность высокомолекулярных соединений
- Методы повышения светочувствительности полимерных материалов - Часть 1
- Методы повышения светочувствительности полимерных материалов - Часть 2
- Основы требования к фоторезистам
- Некоторые свойства фоторезистов и области их применения
- Таблица химических составов
- Основные параметры некоторых отечественных фоторезистов
Об учителе
Имя : Александр Тимошенко
Отзывов : 3 Отзывов
Студент :
50 студентов
Курсы :
12 Курсы
Отзывов
0
расчитано на основе 0 Отзывов
1 Stars
2 Stars
3 Stars
4 Stars
5 Stars