Основы фотолитографии

Основы фотолитографии

Начинающий 5(1 Рейтинг) 7 Студентов обучается Русский
Автор Alex Switchkovskiy
Последнее обновление Wed, 29-Nov-2023
+ Подробнее
Описание курса

В курсе освещены основные проблемы современной фотолитографии и оценены перспективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезистов, процессы образования фоторезистивных покрытий, способы получения фотошаблонов, процессы воспроизведения изображений эле­ментов микросхем на фоторезисте и на подложке, контактная и проекционная фотолитография, применение голографических методов в фотолитографии, электронолитография. Рассмотрено применение фотолитографии при изготовлении интегральных микросхем по тонкопленочной технологии.

Курс рассчитан на инженерно-технических работников, занимаю­щихся разработкой и производством полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Какие знания я получу?

  • Общее понимание контактной и проекционной фотолитографии, голографических методов в фотолитографии и электронолитографии.
Требования
  • Знание общих принципов физики и оптики
Учебная программа курса
9 уроков 00:19:00 часов
Видео
1 уроков 00:19:00 часов
  • Обзорный ролик - основа технологии
    Просмотр 00:19:00
О курсе
1 уроков 00:00:00 часов
  • От авторов
    .
Терминология в фотолитографии
1 уроков 00:00:00 часов
  • Основные понятия
    .
Фоторезисты
5 уроков 00:00:00 часов
  • Фотохимические реакции органических соединений
    .
  • Светочувствительность высокомолекулярных соединений
    .
  • Методы повышения светочувствительности полимерных материалов
    .
  • Основные требования к фоторезистам
    .
  • Некоторые свойства фоторезистов и области их применения
    .
Фотошаблоны
0 уроков 00:00:00 часов
Процессы пленкообразования фоторезистов
0 уроков 00:00:00 часов
Перенос изображения в системе «фотошаблон - фоторезист»
0 уроков 00:00:00 часов
Перенос изображения в системе «фоторезист - подложка»
0 уроков 00:00:00 часов
Фотолитография в тонкопленочной технологии
0 уроков 00:00:00 часов
Оптические системы и проекционная фотолитография
0 уроков 00:00:00 часов
Голографическая техника в системах воспроизведения изображений
0 уроков 00:00:00 часов
Воспроизведение изображений с применением рентгеновских и электронных лучей
0 уроков 00:00:00 часов
Словарь терминов
1 уроков 00:00:00 часов
  • Словарь терминов
    .
+ Подробнее
Другие сопутствующие курсы
Об учителе

Alex Switchkovskiy

1 Отзывов | 7 Студенты | 1 Курсы
Отзывы студентов
5
1 Отзывов
  • (0)
  • (0)
  • (0)
  • (0)
  • (1)

Отзывов

  • Александр Тимошенко
Бесплатные
Включено: